C晶体
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金刚石是具有较宽带隙的半导体,除部分近红外,金刚石晶体具有从X射线到微波整个波段高的透过率,兼备高硬度、高导热率、高化学稳定性和低膨胀系数,是一种优异的光学材料和电子器件。
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电子级单晶金刚石参数表

电子性能

数据

   折射率(590nm)

  2.4

 电子迁移率(cm2/V.S)

  4500

  空六迁移率(m2N S)

  3800

   含量 (EPR测得)

 <5ppb

      硼含量

 <1ppb




















电子性能

数据

    电阻率(2.cm)

  >100

     介电常数

  5.5

     介电损耗

 <2x104

   

热学性能

数据

  热导率(300KWm:K)  

1000~2200

  热膨胀系数(x10-rC)

 1(室温)

 

机械性能

数据

    断裂强度

  2.5-3GPa

   断裂韧性(MPam')

  1~8

               杨氏模量 1050GPa
                 硬度70~120 GPa
              摩擦系数        0.1


检测
品名规格

实验室培育金刚石

尺寸规格

10mm*10mm*0.4m

工艺方法

MPCVD

外观标准

清晰无杂质

序号

项目

检测工具/结果

判定OK/NG

备注

  1

长*宽

卡尺


0K


  2

横向公差


+0.2/--0mm



  3

厚度尺寸

卡尺

>0.3mm

0K


  4

厚度尺寸


+0.01/-0.02mm



  5

表面切痕

目测

0K


  6

NV值检测

拉曼光谱仪

2,2

0K


  7

多晶检测

60倍被光镜

0K


  8

透光性

强光手电

能穿透

0K


  9

重量

电子秤

0.10g

0K


 10

掺杂量

N、B


N/A


 11

晶体学

通常100%单扇区(100)

0K


 12

横向尺寸测量

向较小的一侧

0K


 13

边缘、边缘

 激光切割,边缘

0K


 14

面朝向

(100)大面朝向

0K


 15

边缘激光切0


0K


 16

第12面粗抛光糙度,Ra

抛光,Ra<30nm

0K



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