| 设备名称型号 | ·真空系统GZK-103G |
| 特点 | · 600*600mm的承重台面，可配合科晶管式炉使用，节约空间 · 极限真空度可达10-4Pa，满足大多数高真空实验要求 · 连接管路全部采用不锈钢制成，漏气率极低 · 滚轮上装有制动装置，提高了安全性。 |
| 基本参数 | · 电源：AC 220V 50/60HZ · 功率：1KW · 系统极限真空度：9*10-5Pa（不带负载） · 抽气速率：110L/s · 工作环境温度：5-32℃ · 空气相对湿度：≤80% |
| 机械泵 | · 抽气速率：3L/S · 电机功率：400W · 极限压强：6*10-2Pa |
| 分子泵 | · 抽气速率：100L/S · 极限压强：6*10-6Pa · 启动时间：＜2min · 额定转速：4230rpm/min · 冷却方式：风冷 |
| 分子泵控制器 | · 电源：200-240V · 输出功率：150W · 加速时间：3min · 输出频率：高速 704HZ±10% · 低速 430HZ±10%
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| 复合真空计 | · 电源：220V 50/60HZ · 电阻柜阻值：约85Ω · 自动保护电离：＞10Pa · 电离规管测量范围：100-10-5Pa · 电阻硅管测量范围：105-10-1Pa |
| 设备外形尺寸 | ·600mm（L）*600mm（W）*750mm（H）
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| 重量 | ·约60KG |
| 质保 | ·一年保质期，终身维护 |
科晶实验室使用分子泵配合进行一系列实验，实验结果如下：
实验名称 | 实验过程 | 实验结果 | 分子泵作用 |
硒化碲蒸镀 |
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| 使蒸镀腔体内部真空度达到10 mTorr级别，实现硒化碲无氧化蒸镀。 |
高真空钛片退火 |
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| 使管式炉内部真空度达到10-4 Pa级别，实现钛片高温无氧化退火。 |
硒化碲
样品 | SEM形貌 | |||
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硒化碲
硒化碲光能薄膜电池循环检测：
若有疑问或需要更多详细数据请联系科晶实验室
注意事项 | · 泵在正常运行中，不可进行断电操作，更不可以插拔任何电缆以及信号线。避免电路产生电弧而造成故障。 · 定期对泵的进气管路进行点检，最好做捡漏测试，防止密封性不好导致真空不好，甚至造成真空泵故障。 · 不得对氯化物、硫化物、氨气等易腐蚀的气体抽真空，否则容易损坏挡板阀，波纹管、三通等不锈钢材质的配件。由于通入腐蚀性气体而造成的设备损坏公司售后维修会收取相应的费用。 |
相关可选 | ·可选用柔性不锈钢真空软管配套使用（波纹管）。（图1） ·可选用KF40高真空手动隔断阀配套使用，采用氟胶圈密封，快卸法兰接口，漏率达5*10-9Pam3/s。（图2） ·可选用冷阱或微粒捕集器，以保护分子泵免受冷凝蒸气或小颗粒的损坏（图3、图4） ·连接分子泵与波纹管间需要KF-40卡箍。（图5）
图1 图2 图3
图4 图5 |
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