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超声波旋喷涂机（300-3000 rpm， 最大12英寸晶圆）
- 型号：
- VTC-300USS
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- VTC-300USS超声雾化旋转涂膜机,喷胶机可以精确控制溶液化学计量比、雾粒喷出速度、雾粒大小等参数。VTC-300USS超声雾化旋转涂膜机,喷胶机采用步进电机和微处理器控制容积泵精确输送溶液（溶液可以选择被加热或不被加热）；雾化器被固定在可摆动的支撑臂上，从而确保涂层的均匀性，通过超声波雾化器喷出的雾状颗粒在基片上沉积作用，可以制备厚度较薄的微纳米涂层；VTC-300USS超声雾化旋转涂膜机,喷胶机可吸附的基片直径可长达12"（300mm），同时可控制基底温度使薄膜快速烘干（选择可加热衬底的烘烤灯），以满足实验需要。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
| 设备名称 |
超声旋转喷涂仪—VTC-300USS （2019.12.27—科晶实验室审核） |
| 产品提示 |
1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示 |
| 产品特点 |
超声雾化法是将溶液雾化后喷涂到基体上，从而得到想要的物质结构，可选配上部加热烘烤结构。 此种材料制备方法特别适用于沉积氧化物，而且在制备透明电极的应用中已有相当长的历史。 现在这种方法在制备钙钛矿型太阳能电池中得广泛应用。 |
| 基本参数 |
1、输入电源：208V-240V 50Hz/60Hz
2、旋转涂膜模块 基片直径200mm，最高转速可达3000rpm；基片直径300mm，最高转速可达3000rpm。
  
3、超声雾化模块
   颗粒大小： 10um-20um 流量大小： 0.6pl~4ml/min 固体含量： ≤ 10% 粘度大小： ≤ 100cPs
4、注液系统 本司提供多种形式的供液系统（单路、多路、加热等）
  
更多参数请联系科晶销售部 |
| 产品规格 |
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| 安装条件 |
本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备喷头为气动辅助，需配套空气压缩机或者气瓶（含减压阀） 4、工作台：占地面积2m2以上 5、通风装置：需要 |
应用技术提示 |
▪ 旋转喷涂仪必须放到通风柜中使用，防止液体挥发到实验室中，（可在本公司购买通风柜） ▪ 为了获得最佳的涂覆效果，建议在涂覆之前对基片进行等离子清洗（点击图片查看等离子清洗机详细资料），采用等离子清洗后不仅可以清洁基片表面，而且可大大减小基片的表面张力
  
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标准配件 | 旋转机构1套； 超声雾化电源+雾化喷头1套； 单路供液系统1套； 无油泵1台 |
可选配件 | 多路（可加热）供液系统，烘干装置等 |
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