1200℃微型二通道混气CVD系统
关键字:
微型 二通道
型号:
OTF-1200X-S50-2F
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OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式炉,是一款通过CE认证的可开启式管式炉,能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一KF-25接口,可以与机械泵相连接(抽速为226L/m)。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头,使得炉体可与两路混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序,其控温精确度为+/- 1 ℃ 。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
高温炉

壳体

· 采用双层壳体

· 炉膛采用多晶氧化铝纤维,最大程度减小能量损失

内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度


功率

功率

1.75KW

电压

 AC -220V 

温度

· 最高工作温度:1200℃(< 1hr

· 连续工作温度1100 

升温速率 <= 10C/min

炉管

石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

加热区


加热区长度: 8" (200mm)

温控系统

· PID30段程序化控温

· 控温精度: +/- 1℃  

控温仪表操作视频

加热元件

掺钼铁鉻铝(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长使用寿命)


两路混气系统

· 两个浮子流量计量程为16 100mL/min 

· -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)

· 三个机械压力表:-0.1-0.15 MP

· 混气箱上安装有一不锈钢针阀

· 后端装有φ6.35卡套接头,无需通电

· 外型尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").

· 净重: 14 lbs.

             


真空法兰和配件

结构 
                           
         
标准真空配件:

· 一个防腐型真空计

· 一个φ6.35的卡套接头

· 两个KF25转接头

一个600mm的不锈钢波纹管


防腐型真空计

本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)
     blob.png


真空泵

我公司有多种真空泵可选,请点击图片,或是致电我公司销售
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产品净重

100 lbs


产品尺寸

· 炉体:340 x 300 x 400mm

· 真空泵:440 x 160 x 300mm

混气系统: 340 x 300 x 180mm


运输重量

 200lbs


开门断电

为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
              


质保期

一年质保期(不包括炉管、硅胶O型圈和加热元件等损耗件)


质量认证

若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

     

使用注意事项

· 炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度<1100℃

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)


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